一、精密加工，一般指IT5以上精度要求的加工，用普通工藝、設備很難達到要求。一般都需要采用精密機床、精心設計的工藝、專用刀具和測量儀器，在合適的環境中完成加工。

二、細微加工，廣義地說，是指微小尺寸或者極小操作尺寸的加工。一般外形尺寸小于3毫米，以及少無切削加工工藝等都屬于細微加工。在航空航天、精密儀器、生物醫療等方面都有廣泛應用。

細微加工除了機械加工外，多采用電加工、化學加工、波加工、等離子、激光、粒子、光刻等工藝手段。

從狹義的角度來講，細微加工主要是指半導體集成電路制造技術。

三、細微加工，不一定是精密加工。尤其在半導體集成電路制造技術領域，他們對精度的定義、要求與傳統機械加工的精度定義不一樣。

四、數控機床不一定是精密機床。數控技術解決的是控制、檢測、反饋、運算以及部分的執行機構。機械加工的精度主要還是取決于機械構件的精度。